行業(yè)應(yīng)用分類
精密蝕刻元件類
SMT激光鋼網(wǎng)類
合作伙伴
掩膜板加工
| 產(chǎn)品簡介： | 腐蝕掩膜板加工 |
- 咨詢熱線：呂經(jīng)理 18932203300 yw19@zldsmt.com
產(chǎn)品詳細描述
產(chǎn)品名稱:
材料材質(zhì):
SUS304不銹鋼，SUS316不銹鋼
材料厚度(公制):
0.03mm,0.05mm,0.07mm,0.08mm,0.1mm,0.15mm,0.18mm,0.2mm等
產(chǎn)品用途:
掩膜板加工主要是作為大學研究所，研發(fā)蒸鍍。
產(chǎn)品特點:
蝕刻加工縫隙，線條均均，無毛剌，無缺口，線條可達50um
產(chǎn)品價格:
以材料材質(zhì)、厚度、精度要求、量產(chǎn)數(shù)量綜合核定
蝕刻加工能力:
使用卷對卷曝光機，可大批量生產(chǎn)，每天生產(chǎn)高達1000平方米
樣品提供:
付費打樣，樣品3天內(nèi)，最快24小時出樣，量大可申請免費樣品
批量生產(chǎn)時間:
正常一星期內(nèi)
產(chǎn)品檢測及售后:
二次元、影像儀24小時服務(wù):18932203300
產(chǎn)品蝕刻特點
一、低開模費,可以按設(shè)計人員的設(shè)計要求進行任意更改，成本低
二、能實現(xiàn)金屬的半刻，增加公司LOGO，實現(xiàn)品牌化生
三、極高的精密度,最高可達+/-0.0075mm的精度，滿足不同產(chǎn)品的組裝要求
四、復雜外形產(chǎn)品同樣可以蝕刻，無需額外增加成本
五、沒有毛刺，壓點，產(chǎn)品不變形,不改變材料性質(zhì)，不影響產(chǎn)品的功能
六、厚薄材料都可以一樣加工，滿足不同裝配組件的要求
七、幾乎所有金屬都能被蝕刻，對各種圖案設(shè)計無限制
八、制造各類機械加工所無法完成的金屬部件
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產(chǎn)品名稱: |
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材料材質(zhì): |
SUS304不銹鋼，SUS316不銹鋼 |
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材料厚度(公制): |
0.03mm,0.05mm,0.07mm,0.08mm,0.1mm,0.15mm,0.18mm,0.2mm等 |
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產(chǎn)品用途: |
掩膜板加工主要是作為大學研究所，研發(fā)蒸鍍。 |
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產(chǎn)品特點: |
蝕刻加工縫隙，線條均均，無毛剌，無缺口，線條可達50um |
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產(chǎn)品價格: |
以材料材質(zhì)、厚度、精度要求、量產(chǎn)數(shù)量綜合核定 |
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蝕刻加工能力: |
使用卷對卷曝光機，可大批量生產(chǎn)，每天生產(chǎn)高達1000平方米 |
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樣品提供: |
付費打樣，樣品3天內(nèi)，最快24小時出樣，量大可申請免費樣品 |
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批量生產(chǎn)時間: |
正常一星期內(nèi) |
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產(chǎn)品檢測及售后: |
二次元、影像儀24小時服務(wù):18932203300 |
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產(chǎn)品蝕刻特點 |
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一、低開模費,可以按設(shè)計人員的設(shè)計要求進行任意更改，成本低 |
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二、能實現(xiàn)金屬的半刻，增加公司LOGO，實現(xiàn)品牌化生 |
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三、極高的精密度,最高可達+/-0.0075mm的精度，滿足不同產(chǎn)品的組裝要求 |
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四、復雜外形產(chǎn)品同樣可以蝕刻，無需額外增加成本 |
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五、沒有毛刺，壓點，產(chǎn)品不變形,不改變材料性質(zhì)，不影響產(chǎn)品的功能 |
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六、厚薄材料都可以一樣加工，滿足不同裝配組件的要求 |
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七、幾乎所有金屬都能被蝕刻，對各種圖案設(shè)計無限制 |
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八、制造各類機械加工所無法完成的金屬部件 |
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在半導體制造的整個流程中，其中一部分就是從版圖到晶圓（wafer）制造中間的一個過程，即光掩膜或稱光罩制造。這一部分是流程銜接的關(guān)鍵部分，是流程中造價最高的一部分，也是限制最小線寬的瓶頸之一。
應(yīng)用領(lǐng)域及種類
光掩膜除了應(yīng)用于芯片制造外，還廣泛的應(yīng)用與像LCD，PCB等方面。常見的光掩膜的種類有四種，鉻版(chrome)、干版，凸版、液體凸版。主要分兩個組成部分，基板和不透光材料。基板通常是高純度，低反射率，低熱膨脹系數(shù)的石英玻璃。鉻版的不透光層是通過濺射的方法鍍在玻璃下方厚約0.1um的鉻層。鉻的硬度比玻璃略小，雖不易受損但有可能被玻璃所傷害。應(yīng)用于芯片制造的光掩膜為高敏感度的鉻版。干版涂附的乳膠，硬度小且易吸附灰塵，不過干版還有包膜和超微顆粒干版，其中后者可以應(yīng)用于芯片制造。(順便提一下，通常講的菲林即film，底片或膠片的意思，感光為微小晶體顆粒)。
在刻畫時，采用步進機刻畫(stepper)，其中有電子束和激光之分，激光束直接在涂有鉻層的4-9“ 玻璃板上刻畫，邊緣起點5mm，與電子束相比，其弧形更逼真，線寬與間距更小。光掩膜
有掩膜原版(reticle mask，也有稱為中間掩膜，reticle作為單位譯為光柵)，用步進機重復將比例縮小到master maks上，應(yīng)用到實際曝光中的為工作掩膜(working mask)，工作掩膜由mastermask復制過來。
制造流程和檢測流程
1，數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換 將如GDSII版圖格式分層，運算，格式轉(zhuǎn)換為設(shè)備所知的數(shù)據(jù)形式。(這一部分會產(chǎn)一些具體的描述)
2，圖形產(chǎn)生 通過電子束或激光進行圖形曝光。
3，光阻顯影 曝光多余圖形，以便進行蝕刻。
4，鉻層刻蝕 對鉻層進行刻蝕，保留圖形。
5，去除光阻 去除多余光刻膠。
6，尺寸測量 測量關(guān)鍵尺寸和檢測圖形定位。
7，初始清洗 清洗并檢測作為準備。
8，缺陷檢測 檢測針孔或殘余未蝕刻盡的圖形
9，缺陷補償 對缺陷進行修補。
10，再次清洗 清洗為加蒙版作準備
11，加附蒙版 蒙版(pellicle)加在主體之上，這防止灰塵的吸附及傷害。
12，最后檢查 對光掩膜作最后檢測工作，以確保光罩的正確。
的基本檢查大體有：基板，名稱，版別，圖形，排列，膜層關(guān)系，傷痕，圖形邊緣，微小尺寸， 絕對尺寸，缺欠檢查等。
數(shù)據(jù)處理的工藝要求
對于數(shù)據(jù)處理主要來自于工藝上的要求，在圖形處理上有：
1，直接對應(yīng) 光掩膜直接對應(yīng)到版圖的一層，如金屬層。
2，邏輯運算 光刻圖形可能由1層或多層版圖層邏輯運算而來。比如定義pplus與nplus互補，如果只有pplus，nplus將由pplus進行邏輯非的運算得來。在實際處理中以反轉(zhuǎn)的形式實現(xiàn)。不過值得注意的是，在進行某些邏輯運算時，圖層的順序十分重要。與反轉(zhuǎn)運算結(jié)合進，運算的先后順序也很重要。
3，圖形漲縮 即進行size操作，比如gate處的注入層，從gate size放大而來。
完整的光掩膜圖形中，除了對應(yīng)電路的圖形外，還包括一些輔助圖形或測試圖形，常見的有：游標，光刻對準圖形，曝光量控制圖形，測試鍵圖形，光學對準目標圖形，劃片槽圖形，和其他名稱，版別等LOGO。
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一、用途及特點：掩膜板加工主要應(yīng)用于蒸發(fā)鍍膜遮擋用，傳統(tǒng)掩膜板加工一般都是采用開磨具沖壓成型，但是沖壓工藝比較粗糙，公差大，而且精度不高。對高精密的裝配要求用沖壓的工藝無法達到這樣的要求，卓力達生產(chǎn)的掩膜板加工精度高，采用的是化學蝕刻的工藝制作，蝕刻工藝解決了工業(yè)生產(chǎn)中對高精密零部件的要求，最小孔徑可以達到0.01mm，并且孔壁垂直，沒有任何毛刺；平面度保持在0.02mm以下，最小公差可做到+/-0.01mm，是目前國內(nèi)企業(yè)替代臺灣和日本生產(chǎn)技術(shù)的首選。
二、生產(chǎn)能力：針對掩膜板加工樣品，卓力達配備有專業(yè)的樣品制作小組，一般樣品在2-3個工作日內(nèi)完；針對批量產(chǎn)品我司以強大的技術(shù)力量（高級研發(fā)工程師8人，工程師16人，技術(shù)員20人）和先進以及高效的生產(chǎn)設(shè)備（進口卷對卷曝光機/卷對卷涂布線/進口蝕刻機）和專業(yè)的生產(chǎn)以及管理團隊來保證產(chǎn)品的產(chǎn)能和質(zhì)量
三、交貨方式：以安全，美觀，環(huán)保的卓力達統(tǒng)一紙箱捆包，國內(nèi)快遞巨頭順豐速運24小時不間斷發(fā)貨，國內(nèi)快遞可在24小時內(nèi)到達。
四、質(zhì)量保證以及售后服務(wù)承諾：所有掩膜板加工產(chǎn)品在出貨前均會經(jīng)過嚴格專業(yè)的品質(zhì)檢驗，確保發(fā)貨到您手里的產(chǎn)品是合格產(chǎn)品。若客戶對我司的產(chǎn)品提出質(zhì)量異議，公司會在4小時內(nèi)作出處理意見，若需現(xiàn)場解決，我司將派出專業(yè)技術(shù)人員及品質(zhì)人員解決，不解決問題人員不撤離，對每次客戶的質(zhì)量問題及處理結(jié)果予以存檔，以做培訓和案例分析。
在半導體制造的整個流程中，其中一部分就是從版圖到晶圓（wafer）制造中間的一個過程，即光掩膜或稱光罩制造。這一部分是流程銜接的關(guān)鍵部分，是流程中造價最高的一部分，也是限制最小線寬的瓶頸之一。
應(yīng)用領(lǐng)域及種類
光掩膜除了應(yīng)用于芯片制造外，還廣泛的應(yīng)用與像LCD，PCB等方面。常見的光掩膜的種類有四種，鉻版(chrome)、干版，凸版、液體凸版。主要分兩個組成部分，基板和不透光材料。基板通常是高純度，低反射率，低熱膨脹系數(shù)的石英玻璃。鉻版的不透光層是通過濺射的方法鍍在玻璃下方厚約0.1um的鉻層。鉻的硬度比玻璃略小，雖不易受損但有可能被玻璃所傷害。應(yīng)用于芯片制造的光掩膜為高敏感度的鉻版。干版涂附的乳膠，硬度小且易吸附灰塵，不過干版還有包膜和超微顆粒干版，其中后者可以應(yīng)用于芯片制造。(順便提一下，通常講的菲林即film，底片或膠片的意思，感光為微小晶體顆粒)。
在刻畫時，采用步進機刻畫(stepper)，其中有電子束和激光之分，激光束直接在涂有鉻層的4-9“ 玻璃板上刻畫，邊緣起點5mm，與電子束相比，其弧形更逼真，線寬與間距更小。光掩膜
有掩膜原版(reticle mask，也有稱為中間掩膜，reticle作為單位譯為光柵)，用步進機重復將比例縮小到master maks上，應(yīng)用到實際曝光中的為工作掩膜(working mask)，工作掩膜由mastermask復制過來。
制造流程和檢測流程
1，數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換 將如GDSII版圖格式分層，運算，格式轉(zhuǎn)換為設(shè)備所知的數(shù)據(jù)形式。(這一部分會產(chǎn)一些具體的描述)
2，圖形產(chǎn)生 通過電子束或激光進行圖形曝光。
3，光阻顯影 曝光多余圖形，以便進行蝕刻。
4，鉻層刻蝕 對鉻層進行刻蝕，保留圖形。
5，去除光阻 去除多余光刻膠。
6，尺寸測量 測量關(guān)鍵尺寸和檢測圖形定位。
7，初始清洗 清洗并檢測作為準備。
8，缺陷檢測 檢測針孔或殘余未蝕刻盡的圖形
9，缺陷補償 對缺陷進行修補。
10，再次清洗 清洗為加蒙版作準備
11，加附蒙版 蒙版(pellicle)加在主體之上，這防止灰塵的吸附及傷害。
12，最后檢查 對光掩膜作最后檢測工作，以確保光罩的正確。
的基本檢查大體有：基板，名稱，版別，圖形，排列，膜層關(guān)系，傷痕，圖形邊緣，微小尺寸， 絕對尺寸，缺欠檢查等。
數(shù)據(jù)處理的工藝要求
對于數(shù)據(jù)處理主要來自于工藝上的要求，在圖形處理上有：
1，直接對應(yīng) 光掩膜直接對應(yīng)到版圖的一層，如金屬層。
2，邏輯運算 光刻圖形可能由1層或多層版圖層邏輯運算而來。比如定義pplus與nplus互補，如果只有pplus，nplus將由pplus進行邏輯非的運算得來。在實際處理中以反轉(zhuǎn)的形式實現(xiàn)。不過值得注意的是，在進行某些邏輯運算時，圖層的順序十分重要。與反轉(zhuǎn)運算結(jié)合進，運算的先后順序也很重要。
3，圖形漲縮 即進行size操作，比如gate處的注入層，從gate size放大而來。
完整的光掩膜圖形中，除了對應(yīng)電路的圖形外，還包括一些輔助圖形或測試圖形，常見的有：游標，光刻對準圖形，曝光量控制圖形，測試鍵圖形，光學對準目標圖形，劃片槽圖形，和其他名稱，版別等LOGO。
一、用途及特點：掩膜板加工主要應(yīng)用于蒸發(fā)鍍膜遮擋用，傳統(tǒng)掩膜板加工一般都是采用開磨具沖壓成型，但是沖壓工藝比較粗糙，公差大，而且精度不高。對高精密的裝配要求用沖壓的工藝無法達到這樣的要求，卓力達生產(chǎn)的掩膜板加工精度高，采用的是化學蝕刻的工藝制作，蝕刻工藝解決了工業(yè)生產(chǎn)中對高精密零部件的要求，最小孔徑可以達到0.01mm，并且孔壁垂直，沒有任何毛刺；平面度保持在0.02mm以下，最小公差可做到+/-0.01mm，是目前國內(nèi)企業(yè)替代臺灣和日本生產(chǎn)技術(shù)的首選。
二、生產(chǎn)能力：針對掩膜板加工樣品，卓力達配備有專業(yè)的樣品制作小組，一般樣品在2-3個工作日內(nèi)完；針對批量產(chǎn)品我司以強大的技術(shù)力量（高級研發(fā)工程師8人，工程師16人，技術(shù)員20人）和先進以及高效的生產(chǎn)設(shè)備（進口卷對卷曝光機/卷對卷涂布線/進口蝕刻機）和專業(yè)的生產(chǎn)以及管理團隊來保證產(chǎn)品的產(chǎn)能和質(zhì)量
三、交貨方式：以安全，美觀，環(huán)保的卓力達統(tǒng)一紙箱捆包，國內(nèi)快遞巨頭順豐速運24小時不間斷發(fā)貨，國內(nèi)快遞可在24小時內(nèi)到達。
四、質(zhì)量保證以及售后服務(wù)承諾：所有掩膜板加工產(chǎn)品在出貨前均會經(jīng)過嚴格專業(yè)的品質(zhì)檢驗，確保發(fā)貨到您手里的產(chǎn)品是合格產(chǎn)品。若客戶對我司的產(chǎn)品提出質(zhì)量異議，公司會在4小時內(nèi)作出處理意見，若需現(xiàn)場解決，我司將派出專業(yè)技術(shù)人員及品質(zhì)人員解決，不解決問題人員不撤離，對每次客戶的質(zhì)量問題及處理結(jié)果予以存檔，以做培訓和案例分析。
問：你們的掩膜板加工蝕刻工藝成熟么？能批量化大規(guī)模生產(chǎn)么？同行為什么價格會更具優(yōu)勢？
答：YES，YES，我們是具有十多年蝕刻加工經(jīng)驗，有專業(yè)化的蝕刻技術(shù)團隊。卓力達是最先加入PCMI蝕刻行業(yè)協(xié)會的公司之一，能隨時接收協(xié)會的技術(shù)指導，工藝成熟。進口蝕刻生產(chǎn)線，大批量規(guī)模化生產(chǎn)，蝕刻自動化，避免更多人員操作，相對于同行，我們價格競爭力高。
問：和日本，美國蝕刻加工相比，你們?yōu)槭裁促u得更便宜？
答：國內(nèi)的優(yōu)勢在于轉(zhuǎn)變快，外加上人工，材料等成本相對于日本，歐美，我們更具優(yōu)勢。但是，我們并不是坐擁優(yōu)勢謀取暴利，而是將這部分省去的費用直接回饋給廣大的客戶，讓每一個客戶買到價廉物美的產(chǎn)品，真正做到為客戶著想。
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10多年的蝕刻經(jīng)驗，完善的售后服務(wù)。
用心服務(wù)，一要“真心”、“誠心”，即服務(wù)要從心靈溝通開始。只有用真心、用真誠去傳情達意，才能使彼此的交流更為順暢、更為高效、更為精彩。每一次心靈的交流和理解，都將打破心與心之間的隔閡，縮短心與心之間的距離，為下一步更高境界的心靈之旅做好鋪墊。服務(wù)從心靈的溝通開始，是卓力達人對每一位客戶的誠摯承諾。
用心服務(wù)，二要“傾心”、“熱心”，即傾注全部心血和精力全心全意為用戶服務(wù)，實心實意替用戶著想。傾心、熱心服務(wù)，要求我們必須變被動、生硬服務(wù)為主動、微笑服務(wù)，使“我對用戶微笑”的同時，“用戶也對我微笑”；心為用戶所用，情為用戶所系；急用戶之所急，想用戶之所想；想于用戶未想之先，做于用戶未做之前。
用心服務(wù)，三要“細心”、“耐心”，即細微處見真情，長期堅持見功夫。優(yōu)質(zhì)服務(wù)就是要從小事做起，從點滴做起，“勿以善小而不為”。細致入微，把一切細小的方面和環(huán)節(jié)都想到、做到；不厭其煩，耐心做到用戶滿意為止。這樣，我們的服務(wù)就會盡善盡美，就不難與用戶建立起牢不可破、長期共榮的相互關(guān)系，從而引導需求，滿足需求。
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公司設(shè)立在江蘇省南通市，建筑面積40000多平方米，擁用現(xiàn)代化廠房以及一流的生產(chǎn)和實驗、檢測設(shè)備。關(guān)鍵設(shè)備包括：進口蝕刻生產(chǎn)線，恒溫恒濕無塵操作間，曝光機，顯影機，二次元測量儀，自動脫膜生產(chǎn)線等。卓力達所有掩膜板加工出廠均經(jīng)過生產(chǎn)巡檢，品質(zhì)檢測，出庫核實，層層把關(guān)，品質(zhì)值得信賴！
南通卓力達金屬科技有限公司
地址：南通高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)金川路268號
呂先生 18932203300 直線：0513-81601666 Email：yw19@zldsmt.com
問：你們的掩膜板加工蝕刻工藝成熟么？能批量化大規(guī)模生產(chǎn)么？同行為什么價格會更具優(yōu)勢？
答：YES，YES，我們是具有十多年蝕刻加工經(jīng)驗，有專業(yè)化的蝕刻技術(shù)團隊。卓力達是最先加入PCMI蝕刻行業(yè)協(xié)會的公司之一，能隨時接收協(xié)會的技術(shù)指導，工藝成熟。進口蝕刻生產(chǎn)線，大批量規(guī)模化生產(chǎn)，蝕刻自動化，避免更多人員操作，相對于同行，我們價格競爭力高。
問：和日本，美國蝕刻加工相比，你們?yōu)槭裁促u得更便宜？
答：國內(nèi)的優(yōu)勢在于轉(zhuǎn)變快，外加上人工，材料等成本相對于日本，歐美，我們更具優(yōu)勢。但是，我們并不是坐擁優(yōu)勢謀取暴利，而是將這部分省去的費用直接回饋給廣大的客戶，讓每一個客戶買到價廉物美的產(chǎn)品，真正做到為客戶著想。
10多年的蝕刻經(jīng)驗，完善的售后服務(wù)。
用心服務(wù)，一要“真心”、“誠心”，即服務(wù)要從心靈溝通開始。只有用真心、用真誠去傳情達意，才能使彼此的交流更為順暢、更為高效、更為精彩。每一次心靈的交流和理解，都將打破心與心之間的隔閡，縮短心與心之間的距離，為下一步更高境界的心靈之旅做好鋪墊。服務(wù)從心靈的溝通開始，是卓力達人對每一位客戶的誠摯承諾。
用心服務(wù)，二要“傾心”、“熱心”，即傾注全部心血和精力全心全意為用戶服務(wù)，實心實意替用戶著想。傾心、熱心服務(wù)，要求我們必須變被動、生硬服務(wù)為主動、微笑服務(wù)，使“我對用戶微笑”的同時，“用戶也對我微笑”；心為用戶所用，情為用戶所系；急用戶之所急，想用戶之所想；想于用戶未想之先，做于用戶未做之前。
用心服務(wù)，三要“細心”、“耐心”，即細微處見真情，長期堅持見功夫。優(yōu)質(zhì)服務(wù)就是要從小事做起，從點滴做起，“勿以善小而不為”。細致入微，把一切細小的方面和環(huán)節(jié)都想到、做到；不厭其煩，耐心做到用戶滿意為止。這樣，我們的服務(wù)就會盡善盡美，就不難與用戶建立起牢不可破、長期共榮的相互關(guān)系，從而引導需求，滿足需求。
公司設(shè)立在江蘇省南通市，建筑面積40000多平方米，擁用現(xiàn)代化廠房以及一流的生產(chǎn)和實驗、檢測設(shè)備。關(guān)鍵設(shè)備包括：進口蝕刻生產(chǎn)線，恒溫恒濕無塵操作間，曝光機，顯影機，二次元測量儀，自動脫膜生產(chǎn)線等。卓力達所有掩膜板加工出廠均經(jīng)過生產(chǎn)巡檢，品質(zhì)檢測，出庫核實，層層把關(guān)，品質(zhì)值得信賴！
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